標(biāo)準(zhǔn)氣體-尾氣檢測(cè)氣體-強(qiáng)源氣體價(jià)格(多圖)
安徽強(qiáng)源氣體有限公司
- 主營(yíng)產(chǎn)品：標(biāo)準(zhǔn)氣體,高純氣體,工業(yè)氣體,電子氣體,特種氣體,液態(tài)氣體
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改革開放以來(lái)，隨著我國(guó)高新技術(shù)的快速發(fā)展，計(jì)算機(jī)工業(yè)對(duì)大規(guī)模集成電路與液晶顯示器的需求量增加；隨著新型能源的發(fā)展，我國(guó)大力開拓了多晶硅太陽(yáng)能電池和薄膜太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)；此外，新型電光源、光電半導(dǎo)體器件、光纖通訊器件也過(guò)的迅猛發(fā)展，上述高新產(chǎn)品的生產(chǎn)中，都需要大量高純氣體，以制造出性能可靠的各種器件。什么是
高純氣體？半導(dǎo)體集成電路所需要的高純氣體主要分為兩大類：1、普通氣體：也叫大宗氣體，主要有：H2、N2、O2、Ar、He等。2、特種氣體：主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、蝕刻用氣體等。
半導(dǎo)體
氣體很多是對(duì)人體有害。特別是其中有些氣體如SiH4的自燃性，只要一泄漏就會(huì)與空氣中的氧氣起劇烈反應(yīng)，開始燃燒；還有AsH3的毒性，任何些微的泄漏都可能造成人員生命的危害，也就是因?yàn)檫@些顯而易見(jiàn)的危險(xiǎn)，所以對(duì)于系統(tǒng)設(shè)計(jì)安全性的要求就特別高。氣體的使用在半導(dǎo)體制程中一直扮演著重要的角色，特別是半導(dǎo)體制程目前已被廣泛的應(yīng)用于各項(xiàng)產(chǎn)業(yè)，凡舉傳統(tǒng)的ULSI、TFT-LCD到現(xiàn)在的微機(jī)電(MEMS)產(chǎn)業(yè)，皆以所謂的半導(dǎo)體制程為產(chǎn)品的制造流程，其中的制程包括如干蝕刻、氧化、離子布植、薄膜沉積等皆使用到相當(dāng)多的氣體，而氣體的純度則對(duì)組件性能、產(chǎn)品良率有著決定性的影響，氣體供應(yīng)的安全性則關(guān)乎人員的健康與工廠運(yùn)作的安全。
1、可燃?xì)怏w的燃爆限，從安全的角度出發(fā)，在制備標(biāo)準(zhǔn)氣體之前，必須對(duì)標(biāo)準(zhǔn)氣體混合的可行性進(jìn)行研究。特別要考慮各組分氣體的燃爆極限，在制備由可燃?xì)怏w和氫氣（或氧氣）組成的標(biāo)準(zhǔn)氣體時(shí)，要注意組分氣體含量是否超過(guò)燃爆限的問(wèn)題。否則在制備過(guò)程中，可能發(fā)生燃爆事故。燃爆限是可燃性氣體的重要技術(shù)數(shù)據(jù)。在配制含有可燃?xì)怏w組分的標(biāo)準(zhǔn)氣體前，必須了解該組分的燃爆限，以確保安全。
2、氣體的飽和蒸氣壓及其他性能，要了解各組分的飽和蒸氣壓及其他性能，考虎是否會(huì)產(chǎn)生冷凝作用、標(biāo)準(zhǔn)氣體中組分與鋼瓶同僻壁材質(zhì)之間的作用、各組分間的反應(yīng)等。
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